常壓下產生非平衡等離子體的方法有電暈放電、介質阻擋放電。電暈放電是一種不均勻的氣體放電。當在電極兩端加上較高但未達擊穿的電壓時,如果電極表面附近的電場很強,則電極附近的氣體介質會被局部擊穿而產生電暈放電現象。放電時氣體的氣壓約為10^5Pa。
在通常情況下,都是研究在曲率半徑很小電極處的電暈放電。當電極曲率半徑很小時,由于其附近的場強特別高,很容易在電極尖端附近出現微弱發光的電暈放電現象。解釋電暈放電現象的理論是流光理論。
常壓下氣體電暈放電產生的等離子體多應用于廢氣處理和有機物的改性。韓國的Y.S.Mok等人利用脈沖電暈放電除去廢氣中的SO2和NO氣體,并對這一工藝進行了脈沖發生電路的能量傳輸效率及能量利用效率的評估。
介質阻擋放電是高氣壓下另一種典型放電方式。歷史上對常壓下介質阻擋放電(DBDs)的研究可追溯至19世紀.早在1840年當Schonbein確定臭氧是一種新的化合物之后,Siemens于1857年提出了特殊電子放電的思想,并將之用于從空氣或氧氣中制造臭氧,Siemens將這一工藝稱之為“氣相的電解作用”。
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